现有的半导体清洗花篮,将半导体晶片放置在清洗花篮中,通常为保证半导体晶片能充分接触清洗液,清洗花篮的槽齿与外界都是连通的,槽齿之间无加强筋等,强度较低,易破碎,而且现有清洗花篮的结构使得清洗空间的通风性不好,清洗液的流动也不好。
四氟花篮多晶硅新材料能源行业的产品特性:
PFA也称改性聚四氟乙烯,Teflon;PFA花篮适用于半导体、多晶硅、新能源、新材料、太阳能等行业;一般用于太阳能硅片摆放,清洗,泡酸等。
PFA的特点它能耐受清洗溶液的腐蚀性,同时金属元素空白值低,无溶出无析出,不会污染芯片晶圆等。
半导体晶圆清洗槽尺寸可按要求定做。同时可定制配套盖子,防止污染。
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主要经营PFA、FEP、PTFE系列产品,高压消解罐,消解器,水热合成反应釜,酸纯化器。 。
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